所检缺陷种类：孔洞、尺寸、位置；穿孔；颗粒污染；凹坑；水印；划伤；浅坑；CMP凸起 检测范围：8寸、12寸 图像分辨率：1.725um/像素 缺陷识别率：99% 检测视野大小：4.5mm x 3.5mm 最小可检孔洞缺陷大小：20um